한양대학교 ERICA 4단계 BK21 지산학연 중심 피지컬AI 교육연구단은 지난 8월 18일 한양대학교 ERICA 카카오데이터센터 안산 1층 산학연실1에서 Arizona State University의 Hyunwoong Ko 교수를 초청해 해외석학 초청 세미나를 개최했다.

이번 세미나는 Physical AI 및 디지털 트윈 분야의 최신 연구 동향을 공유하고, 관련 분야의 학술 교류와 연구 협력을 확대하기 위해 마련됐다.

Hyunwoong Ko 교수는‘Domain-Adaptive Digital Process Twins from Sparse Metrology: A Physics-Informed Multi-Modal Graph Transformer Framework for Plasma Etching Virtual Metrology’를 주제로 강연을 진행했다.

이번 강연에서는 Digital Process Twins와 Plasma Etching Virtual Metrology를 중심으로 제한적인 계측 데이터(Sparse Metrology)를 활용해 반도체 플라즈마 식각 공정의 상태를 예측하고 분석하는 연구 방법을 소개했다. 특히 물리 기반 지식과 다양한 형태의 데이터를 결합한 Physics-Informed Multi-Modal Graph Transformer Framework를 활용해 공정 데이터를 효과적으로 분석하고 가상 계측(Virtual Metrology)에 적용하는 연구 사례를 공유했다.

또한 디지털 트윈과 인공지능 기술을 제조공정에 적용하는 과정에서 물리 기반 지식과 데이터 기반 모델을 결합하는 방법을 소개하며, Physical AI와 AI 기반 제조공정 기술의 발전 방향 및 산업 현장 적용 가능성에 대해서도 설명했다.

참석자들은 강연을 통해 Physical AI, 디지털 트윈 및 반도체 제조공정 분야의 최신 연구 동향을 살펴보고, 관련 연구에 대한 다양한 의견을 공유하는 시간을 가졌다.

이번 해외석학 초청 세미나는 국내외 연구자 간 연구 교류를 활성화하고, Physical AI 및 디지털 트윈 분야의 연구 역량을 강화할 수 있는 뜻깊은 자리가 됐다.

4단계 BK21 지산학연 중심 피지컬AI 교육연구단은 앞으로도 국내외 석학 및 전문가를 초청한 학술행사를 지속적으로 개최해 최신 연구 동향을 공유하고, Physical AI 분야의 연구 및 산학협력 네트워크를 확대해 나갈 계획이다.